四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。該儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。如有需要可加配測試臺使用。

 

　　適用范圍：

　　1、覆蓋膜；導(dǎo)電分子膜，、低溫電熱膜；隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙；金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜；熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜；電涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試。

　　2、硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜。

　　3、EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜。

　　4、抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等。

 

　　四探針測試儀的能描述：

　　1、四探針單電測量方法；

　　2、液晶顯示，自動測量，自動量程，自動系數(shù)補償；

　　3、集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；

　　4、選配：PC軟件行數(shù)據(jù)管理和處理；

　　5、提供中文或英文兩種語言操作界面選擇。

 

　　設(shè)備特點：

　　1、可以測量溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；

　　2、軟件、觸摸屏、溫爐等集成于體，可以行可視化操作；

　　3、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量；同時保證探針在溫下不氧化；

　　4、采用labview軟件開發(fā)，操控性、兼容性好、方便升級；

　　5、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象；

　　6、控溫和測溫采用同個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度；

　　7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表。